成果/Result
- 多弧离子镀镀制掺氮二氧化钛薄膜及其光吸收特性的研究被引量:3收藏
- 作者:马永新 周友苏 万春萍 彭京龙
- 机构:北京联合大学机电学院
- 来源:《真空》 2006
- 关键词:多弧离子镀 二氧化钛 薄膜 氮掺杂 光吸收特性
- 摘要:利用多弧离子镀在玻璃衬底上制备了TiO2薄膜和氮掺杂的TiO2薄膜样品,并对样品进行了220~500℃温度的热处理,通过X射线衍射(XRD)以及UV—Vis分光光度计等测试手段对热处理前后的样品的结构、光吸收特性进行了分...
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