文献类型：期刊文献

中文题名：MEMS传感器随机误差分析

英文题名：Stochastic error analysis on MEMS sensor

作者：于丽杰[1];高宗余[1]

第一作者：于丽杰

机构：[1]北京联合大学自动化学院

第一机构：北京联合大学城市轨道交通与物流学院

年份：2012

卷号：31

期号：3

起止页码：63-65

中文期刊名：传感器与微系统

外文期刊名：Transducer and Microsystem Technologies

收录：CSTPCD;;北大核心:【北大核心2011】；CSCD:【CSCD2011_2012】；

基金：北京市属高等学校人才强教计划资助项目(PHR20116149);国家自然科学基金资助项目(50805004)

语种：中文

中文关键词：微机电系统;随机误差;Allan方差;系数

外文关键词：MEMS stochastic error Allan variance coefficients

摘要：根据MEMS传感器中随机误差较大,有时会覆盖传感器中有用信号的问题,提出采用Allan方差方法对MEMS传感器实测数据进行分析。系统地分析了引起MEMS传感器误差的随机噪声种类及其来源和特性,Allan方差分析方法的优势不仅在于能确定各类随机误差的误差特性,而且可以确定出其误差系数,由此可与相应的各种滤波方法相结合更好地实现其滤波效果。实验证明:Allan方差分析是对MEMS传感器随机误差进行研究的有效方法。
Aiming at the problem of the stochastic error is large in MEMS sensors, and sometimes,it can cover the useful signals. Allan variance method is proposed to analyze experimental data of MEMS sensors. Varieties of random noises, source and characteristics are analyzed. The advantage of Allan variance analysis method is not only determine the characteristics of stochastic error, but also determine the error coefficients. So it can combine with the correspording various filtering methods to achieve better filtering effect. Experiments prove Allan variance analysis is an effective method to research stochastic errors of MEMS sensor.