文献类型：期刊文献

中文题名：耐高温合金薄膜压力传感器的设计及仿真分析

英文题名：Design and Simulation Analysis of High Temperature Alloy Thin Film Pressure Sensor

作者：谭苗苗[1]

第一作者：谭苗苗

机构：[1]北京联合大学机电学院

第一机构：北京联合大学机器人学院

年份：2017

卷号：0

期号：6

起止页码：33-34

中文期刊名：机械工程师

外文期刊名：Mechanical Engineer

基金：北京市优秀人才培养资助青年骨干个人项目(2014000020124G063)

语种：中文

中文关键词：高温压力传感器;合金薄膜;仿真

外文关键词：high temperature pressure sensor; alloy film; simulation

摘要：研制高温恶劣环境适用的压力传感器具有重要的工程实际意义。文中设计了以蓝宝石为弹性膜片,溅射合金薄膜为应变电阻的耐高温压力传感器。通过有限元软件计算分析了弹性膜片的应力应变分布,并对膜片厚度进行了优化设计。
The development of high temperature pressure sensor has important practical significance. This paper designs a high temperature pressure sensor including sapphire elastic diaphragm and alloy film strain resistance. By using finite element software, the stress and strain distribution of the diaphragm is analyzed, and the thickness of diaphragm is optimized.